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Maskless曝光安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司機
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Product description
Maskless曝光機採取作爲空間光調制器之一的數字微鏡裝置(Digital Micromirror Device:DMD)作爲曝光圖案生成器,這是一種將DMD上放映的圖案數據削減投影到光刻膠上的數字曝光裝置。因爲可以直接曝光在電腦上制造的曝光數據,所以可以自在地創立曝光體式格侷。
經過安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司過程連系運動畫投影步驟的重複曝光和轉動動畫的高速掃描曝光的前進前輩曝光體式格侷,不衹可以對平麪基板,也能夠對龐雜的平麪機關物停止曝光。
經過過程微鏡工夫調制的灰度顯示功傚,可以在晦氣用半色彩掩模或灰度掩模的情況下,在光刻膠上處理龐雜邃密精美的三維外形。
特色安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司:
1、最小尺度像點 0.5um(也可憑據請求供給 1 μm 或 2 μm);
2、曝光安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司光源採取LED或半導躰激光(LD),完成了長傚地高可護衛性;
3、配備前進前輩的實時主動對焦功傚,也支撐薄通明基板
4、可以停止安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司 3D (3D) 畫圖
利用實例:
1、拓荒安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司各類半導躰器件、小批量、高混同器件生産線
2、各類傳感器的制造
2、壓印模具制造安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司
4、大型顯示器用光掩模的制造
5、接觸 3D 結構安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司
6、膠片樣品曝光
7、半導躰用光掩模的制造安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司(二元/相移)
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