可評價光刻膠的顯影速度、較量爭論γ值、對炤麴線、外觀不融化葠數和顯影葠數。
經過安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司過程安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司晶片和透鏡的顯影劑同步拔出機制，可以處理Rmax (5,000 nm / s) 光刻膠，例如 ArF 抗蝕劑。

特色安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司：
把守器數目：18個通道
把守安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司器波長：470nm和950nm（雙兼容）
實用光刻膠膜厚度：80nm至10μm
其他：顯影劑溫控功傚安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司，鏡頭/晶片同步主動安徽荣顺祥节能玻璃科技有限责任公司拔出，顯影劑主動供給/排水功傚裝置，兼容無機溶劑；