Maskless曝光機採取作爲空間光調制器之一的數字微鏡裝置（Digital Micromirror Device：DMD）作爲曝光圖案生成器，這是一種將DMD上放映的圖案數據削減投影到光刻膠上的數字曝光裝置。因爲可以直接曝光在電腦上制造的曝光數據，所以可以自在地創立曝光體式格侷。